Mikroelektronik

Erträge verbessern und Risiken minimieren

Der Eintrag von Feinstaub und AMC muss sorgfältig kontrolliert werden, um eine Halbleiterfertigung mit hohem Ertrag und niedrigem Ausschuss zu ermöglichen. 

Zu den AMC-Quellen gehören: 

  • Chemisches Ausgasen
  • Abgase von anderen Industrieanlagen und Prozessen
  • Abgase von Kraftfahrzeugen
  • Saisonale Faktoren

Fehler durch AMC werden klassifiziert als:

  • Mechanische Einflüsse, einschl. Behinderung des Luftstroms zur Kühlung, Beeinträchtigungen von beweglichen oder optischen Teilen sowie die Verformung von Oberflächen
  • Chemische Einflüsse, einschl. Korrosion von elektrischen Komponenten, die durch Staub aus schwefel- und chlorhaltigen Salzen ausgelöst werden
  • Elektrische Einflüsse, einschl. Widerstandsänderungen und Kurzschluss elektrischer Schaltkreise.

 

Luftfilterlösungen für die mikroelektronische Industrie

Luftfilter

Gehäuse und Ausrüstung

Luftfilterlösungen für die mikroelektronische Industrie

Panelfilter

Unsere Plattenfilter sind ideal zum Schutz teurerer Sekundärluftfilter vor vorzeitiger Staubbelastung und vorzeitigem Austausch. Als Primärfilter tragen sie außerdem zur Senkung der Wartungskosten für HLK-Anlagen bei, indem sie unnötige Staubablagerungen auf Spulen, Ventilatoren und Rohrleitungen verhindern.

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Taschenfilter

Unsere Taschenfilter (DriPak SX, NX und GX)  verfügen über die höchste Staubaufnahmekapazität und ein optimiertes Druckabfallverhalten für hohe Leistung.

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AstroSorb

Kompaktfilter zur Entfernung von luftgetragenen molekularen Verunreinigungen (AMC) und zur effektiven Beseitigung typischer gasförmiger Verunreinigungen, die zu unangenehmen Gerüchen oder Korrosion führen.

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Compact Filter (V-Bank)

Unsere VariCel V XL, VariCel V XLE und VariCel V XL A verfügen über eine höhere Staubaufnahmekapazität, wodurch weniger Filterwechsel erforderlich sind. Sie haben eine längere Lebensdauer, wodurch die Ersatzkosten reduziert werden.

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MEGAcel I

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AstroFan FFU

Die AAF AstroFan FFU-Einheit ist ein eigenständiges Deckenfilter-Gebläse. Das Gerät ist leicht und einfach zu installieren.

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AstroSorb

Kompaktfilter zur Entfernung von luftgetragenen molekularen Verunreinigungen (AMC) und zur effektiven Beseitigung typischer gasförmiger Verunreinigungen, die zu unangenehmen Gerüchen oder Korrosion führen.

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AstroHood II

Kompaktfilter zur Entfernung von luftgetragenen molekularen Verunreinigungen (AMC) und zur effektiven Beseitigung typischer gasförmiger Verunreinigungen, die zu unangenehmen Gerüchen oder Korrosion führen.

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MEGAcel II ME

Plattenfilter mit Membrantechnologie, der einen extrem niedrigen Druckabfall bis zu ULPA-Filterwirkungsgraden bietet. Wird hauptsächlich in ultrareinen Umgebungen und Anwendungen wie Reinräumen eingesetzt. Geeignet für DPC-Prüfverfahren.

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Taschenfilter

Unsere Taschenfilter (DriPak SX, NX und GX)  verfügen über die höchste Staubaufnahmekapazität und ein optimiertes Druckabfallverhalten für hohe Leistung.

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AstroSorb

Kompaktfilter zur Entfernung von luftgetragenen molekularen Verunreinigungen (AMC) und zur effektiven Beseitigung typischer gasförmiger Verunreinigungen, die zu unangenehmen Gerüchen oder Korrosion führen.

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Compact Filter (V-Bank)

Unsere VariCel V XL, VariCel V XLE und VariCel V XL A verfügen über eine höhere Staubaufnahmekapazität, wodurch weniger Filterwechsel erforderlich sind. Sie haben eine längere Lebensdauer, wodurch die Ersatzkosten reduziert werden.

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MEGAcel II ME

Plattenfilter mit Membrantechnologie, der einen extrem niedrigen Druckabfall bis zu ULPA-Filterwirkungsgraden bietet. Wird hauptsächlich in ultrareinen Umgebungen und Anwendungen wie Reinräumen eingesetzt. Geeignet für DPC-Prüfverfahren.

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Die Ingenieure von AAF International sind in Normungsgremien in den Vereinigten Staaten von Amerika und Europa tätig. Wir sind maßgeblich an der Entwicklung neuer Standards und empfohlener Vorgehensweisen für Reinraumanwendungen beteiligt. Beispielsweise haben unsere Ingenieure wesentliche Beiträge zur Entwicklung und Formulierung der empfohlenen Vorgehensweisen des Institute of Environmental Sciences and Technology geleistet. Diese Fachkompetenz spiegelt sich auch im Design, in der Fertigung und den Prüfverfahren jeder Lösung zur Reinraumfiltration wider, die wir produzieren. Das Ergebnis daraus ist ein Reinraumfilter, das so konstruiert und aufgebaut ist, dass es die erforderliche Partikelbeseitigung ermöglicht und gleichzeitig die gewünschte Energieeffizienz und Kosteneinsparung bietet.

Ein gründliches Luftfilter-Audit Ihrer HLK-Anlagen ist bei AAF International der erste Schritt, um Ihnen eine professionelle Beratung und Analyse im Hinblick auf Kosteneinsparungen und Haftungsreduzierung zu bieten. Unser Ziel bei dieser Prüfung ist es, Ihren aktuellen Stand und Ihren kompletten Luftfiltrationsbedarf, Ihre Anwendungen und Ziele in Bezug auf die Gesamtluftqualität besser zu verstehen. Diese maßgeschneiderte Luftfiltrationsuntersuchung ist für Sie kostenlos und könnte Ihnen erhebliche Vorteile bieten, indem sie Ihnen dabei hilft, die Risiken zu senken und sowohl Geld als auch Zeit zu sparen.

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